Απαιτήσεις για καθαρούς χώρους στη βιομηχανία ημιαγωγών

Οι απαιτήσεις για τα καθαρά δωμάτια στη βιομηχανία ημιαγωγών είναι οι ακόλουθες:
1Υψηλές απαιτήσεις καθαριότητας
Η καθαρότητα του αέρα στα καθαρά δωμάτια ποικίλλει ανάλογα με τις απαιτήσεις των διαφόρων διεργασιών των ημιαγωγών.Γενικά πληροί τα πρότυπα της κατηγορίας 1 (ισοδύναμο ή μικρότερο από 10.1 μικροσωματίδια ανά κυβικό πόδι) στην κατηγορία 100 (ισοδύναμη ή μικρότερη από 100 σωματίδια 0,5 μικροσωματίδων ανά κυβικό πόδι).
2. Ακριβής έλεγχος θερμοκρασίας και υγρασίας
Τα υλικά των ημιαγωγών είναι εξαιρετικά ευαίσθητα στη θερμοκρασία και την υγρασία.με εύρος σχετικής υγρασίας 40-60% και διακυμάνσεις που δεν υπερβαίνουν τους ± 1 °C και ± 5% RH.
3Αξιόπιστη και σταθερή παροχή και διανομή ενέργειας
Ο καθαρός χώρος απαιτεί ειδικό σύστημα τροφοδοσίας και διανομής ενέργειας για να παρέχει σταθερή και περιττή τροφοδοσία ενέργειας, εξασφαλίζοντας την κανονική και αδιάλειπτη λειτουργία του εξοπλισμού διεργασίας.Την ίδια στιγμή, είναι απαραίτητο να υπάρχουν λειτουργίες προστασίας και φιλτραρίσματος για την αποτροπή παρεμβολών στην ισχύ.
4. Ευλόγητη ροή αέρα χωρίς σκόνη
Τα καθαρά δωμάτια πρέπει να είναι εξοπλισμένα με συστήματα φιλτραρίσματος και κυκλοφορίας αέρα χωρίς σκόνη, ώστε να εξασφαλίζεται εύλογη κατανομή της ροής αέρα και να μην υπάρχουν νεκρές γωνίες, ώστε ο καθαρός αέρας να μπορεί να φθάσει πλήρως σε κάθε γωνία.Η ταχύτητα της ροής του αέρα και η πίεση του αέρα πρέπει επίσης να ελέγχονται αυστηρά για να αποφεύγεται η ροή του εξωτερικού αέρα πίσω ή να.
5Ολοκληρώστε τον σεισμικό σχεδιασμό.
Λαμβάνοντας υπόψη τις απαιτήσεις σταθερότητας των διεργασιών των ημιαγωγών, τα καθαρά δωμάτια πρέπει συνήθως να υιοθετούν μέτρα αντοχής σε κρούσματα για τη μείωση της επίδρασης των εξωτερικών δονήσεων στη διαδικασία.Το θεμέλιο πρέπει να είναι επαρκώς σταθερό και να είναι εξοπλισμένο με συσκευές αποθήκευσης.
6Η επιλογή υλικού είναι απαλλαγμένη από σκόνη και ρύπανση.
Το υλικό της επιφάνειας του καθαρού δωματίου πρέπει να είναι απαλλαγμένο από σκόνη και ρύπανση, και δεν θα παράγει σωματίδια.Στην είσοδο πρέπει να τοποθετηθεί ένα κουρτίνο αέρα για να μην εισέλθει σκόνη.